미국, ASML에 EUV 장비 중국 반출 주장, ASML은 314대 전수 확인 후 부인
러트닉 장관, EUV 관련 부품과 운송 장비의 중국 유입 주장, ASML은 어떠한 시스템이나 EUV 전용 부품도 납품한 적 없다고 단언, BIS 집행 조치 가시화
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요약
미국 상무장관 하워드 러트닉은 ASML에 Asml의 극자외선(EUV) 리소그래피 장비 또는 EUV 관련 부품이 네덜란드와 미국의 수출 규제를 위반하여 China에 반입됐다고 통보했다. 이 주장은 6월 18일~19일 블룸버그와 TechCrunch를 통해 공개됐으며, 6월 22일까지 미국 당국은 증거가 완전한 장비가 아닌 EUV 호환 부품과 운송 장비에 관한 것이라고 구체화했다. ASML은 이례적으로 명확한 표현으로 반박했다. 중국에 완전한 EUV 시스템도 EUV 전용 부품도 납품한 적이 없으며, 설치된 EUV 시스템 314대 전체의 소재를 파악하고 있다고 밝혔다. 네덜란드는 2019년부터 EUV의 대중 수출을 금지해왔다. 당국은 증거 공개를 반복적으로 거부했으며, BIS의 집행 조치 가능성이 높아지고 있다.
주요 수치
- 314, ASML이 전체 소재를 완전히 파악하고 있다고 주장하는 설치된 EUV 시스템 수.
- 0, 2019년 네덜란드 금수 조치 이후 ASML이 중국에 납품한 EUV 장비 수.
- 약 20%, 기존 승인된 (비 EUV) 중국 판매가 ASML 2026년 매출에서 차지하는 비중.
- 2억 5,250만 달러, Applied Materials에 대한 BIS 제재금 (2026년 2월, 한국 경유 Smic 부품 우회).
- 60대 이상, ASML이 2026년 납품 예정인 EUV 유닛 수 (2027년 80대, High-NA 스캐너 약 10대 포함).
중요한 이유
EUV 위반이 확인될 경우 반도체 통제 체제의 핵심 전제, 즉 가장 엄격하게 제한된 장비는 중국에 도달할 수 없다는 가정이 무너진다. 부품 대 완전 장비의 구분이 이번 사안의 핵심이다. 이중용도 부품은 통제 체계가 상정하지 않았던 회색지대에 위치한다. 입증되지 않은 상태에서도 이 분쟁은 ASML의 중국 매출과 네덜란드·미국 공조에 압박을 가하고 있다.
주목할 점
- BIS가 공식 집행 조치를 개시하고 마침내 증거를 제시할지 여부.
- 다음 실적 발표에서 ASML의 대응과 중국 매출 전망 수정 가능성.
- 네덜란드 정부의 입장, 헤이그가 ASML 편에 설지 워싱턴 편에 설지 여부.