华盛顿告知ASML一台EUV设备在中国,ASML清点全部314台后予以否认
卢特尼克指控EUV相关部件及运输设备流入中国,ASML坚称从未交付任何系统或EUV专用部件,BIS执法行动迫在眉睫
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摘要
美国商务部长霍华德·卢特尼克已告知ASML,一台Asml极紫外(EUV)光刻设备或EUV相关部件已流入China,违反了荷兰和美国的出口管制规定。该指控于6月18日至19日经由彭博社和TechCrunch公开,到6月22日,美国官员进一步明确证据涉及EUV兼容部件与运输设备,并非完整设备。ASML以异常明确的措辞予以反驳:公司既未向中国交付完整的EUV系统,也未交付任何专为EUV开发的部件,并表示已全数核实其安装的314台EUV系统的下落。荷兰自2019年起已禁止向中国出口EUV设备。美国官员一再拒绝出示证据,BIS执法的可能性由此上升。
数字
- 314,ASML表示能够完整核实下落的已安装EUV系统台数。
- 0,自2019年荷兰禁令以来ASML向中国出货的EUV设备台数。
- 约20%,此前已批准的(非EUV)中国销售额占ASML 2026年营收的比例。
- 2.525亿美元,BIS对Applied Materials的罚款(2026年2月,因通过韩国向Smic转运部件)。
- 60台以上,ASML计划于2026年出货的EUV机台数(2027年为80台,含约10台High-NA扫描仪)。
为何重要
一旦EUV违规被确认,将打碎芯片管控体系的核心假设,即受限最严的设备无法进入中国。部件与整机的区别是整个案件的焦点:两用部件处于管控规则未曾设想的灰色地带。即便尚未得到证实,这场争议已对ASML的中国营收及荷美关系造成压力。
值得关注的
- BIS是否启动正式执法程序并最终出示证据。
- ASML在下次财报电话会议上的回应及是否下调中国营收预期。
- 荷兰政府立场,海牙究竟支持ASML还是华盛顿。